日前，沈陽新松機器人自動化股份有限公司承擔(dān)的“300mmIC生產(chǎn)線自動物料搬運系統(tǒng)研發(fā)與應(yīng)用”項目在沈陽通過了國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”(02專項)實施管理辦公室組織的驗收。

該項目由新松公司聯(lián)合中科院沈陽自動化所、上海集成電路研發(fā)中心有限公司等實力雄厚的研究院所、企業(yè)進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，完成了物料控制系統(tǒng)軟件、潔凈天車、天井式搬運車、潔凈立庫、潔凈有軌制導(dǎo)車輛及外接晶片裝載設(shè)備等核心設(shè)備的開發(fā)，并在上海集成電路研發(fā)中心有限公司完成了自動物料搬運系統(tǒng)的示范應(yīng)用，實現(xiàn)了潔凈物料傳輸系統(tǒng)裝備的國產(chǎn)化,項目合同期內(nèi)完成了自動物料搬運生產(chǎn)線5條，實現(xiàn)銷售收入1.44億元。該系統(tǒng)的研制成功不僅打破了國外集成電路裝備企業(yè)在國內(nèi)的壟斷地位，降低了晶圓制造企業(yè)生產(chǎn)成本，同時推動了我國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并帶動整個裝備制造的產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，加速我國裝備制造業(yè)的轉(zhuǎn)型升級。

下一步，新松公司將在三期產(chǎn)業(yè)園，新建超過6000平方米的潔凈車間，用于自動化物料搬運系統(tǒng)及其核心設(shè)備產(chǎn)品研發(fā)、測試和驗證，進(jìn)一步提高潔凈產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化能力。